บีโอไอ ยกระดับอุตสาหกรรม เซมิคอนดักเตอร์ เพิ่มสิทธิประโยชน์ภาคการผลิตต้นน้ำ ครอบคลุมทั้ง Supply Chain
*กลุ่มที่1 การผลิตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ
 กิจการผลิต Wafer ต้นน้ำของ Semiconductor 
-ยกเว้นภาษีเงินได้นิติบุคคล 10 ปี
กิจการผลิตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำและ/ หรือชิ้นส่วนสำหรับอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ
-ยกเว้นภาษีเงินได้นิติบุคคล 8 ปี เงินลงทุนค่าเครื่องจักรไม่น้อยกว่า 1,500 ล้านบาท
-ยกเว้นภาษีเงินได้นิติบุคคล 5 ปี เงินลงทุนค่าเครื่องจักรน้อยกว่า 1,500 ล้านบาท
*กลุ่มที่2 การผลิตแผ่นวงจรพิมพ์
กิจการผลิตแผ่นวงจรพิมพ์ (PCB) แบบ Multiple layer หรือ Flexible
-ยกเว้นภาษีเงินได้นิติบุคคล 8 ปี เงินลงทุนค่าเครื่องจักรไม่น้อยกว่า 1,500 ล้านบาท
-ยกเว้นภาษีเงินได้นิติบุคคล 5 ปี เงินลงทุนค่าเครื่องจักรน้อยกว่า 1,500 ล้านบาท
*กลุ่มที่3 แผงวงจรอิเล็กทรอนิกส์
กิจการผลิต Printed Circuit Board Assembly (PCBA)
-ยกเว้นภาษีเงินได้นิติบุคคล 5 ปี เงินลงทุนค่าเครื่องจักรไม่น้อยกว่า 500 ล้านบาท
-ยกเว้นภาษีเงินได้นิติบุคคล 3 ปี เงินลงทุนค่าเครื่องจักรน้อยกว่า 500 ล้านบาท